KS C IEC 60204-33:2010
機械の安全性、機械の電気機器、パート 33: 半導体製造装置の要件

規格番号

KS C IEC 60204-33:2010

制定年

2010

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

状態

入れ替わる 2020-01

に置き換えられる

KS C IEC 60204-33-2020

最新版

KS C IEC 60204-33-2020

範囲

この規格は、半導体の製造（工程）、測定、組み立て、および試験のための半導体製造装置に関するものです。

KS C IEC 60204-33:2010 発売履歴

• 2020 KS C IEC 60204-33-2020 半導体製造装置の安全ガイドライン
• 2010 KS C IEC 60204-33:2010 機械の安全性、機械の電気機器、パート 33: 半導体製造装置の要件