DS/EN 62047-11:2013
半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - パート 11: 微小電気機械システムで使用される独立した材料の線熱膨張係数の試験方法

規格番号

DS/EN 62047-11:2013

制定年

2013

出版団体

Danish Standards Foundation

最新版

DS/EN 62047-11:2013

範囲

IEC 62047-11:2013 specifies the test method to measure the linear thermal expansion coefficients (CLTE) of thin free-standing solid (metallic, ceramic, polymeric, etc.) micro-electro-mechanical system (MEMS) materials with length between 0 ,1 mm and 1 mm a

DS/EN 62047-11:2013 発売履歴

• 2013 DS/EN 62047-11:2013 半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - パート 11: 微小電気機械システムで使用される独立した材料の線熱膨張係数の試験方法