KS D 0258-2012
シリコン結晶の完全性を評価する化学優先腐食試験方法

規格番号

KS D 0258-2012

制定年

2012

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

KS D 0258-2012(2017)

最新版

KS D 0258-2022

交換する

KS D 0258-2002

範囲

この規格は、シリコンウェハの結晶欠陥を六価クロムを含まない選択エッチング液によって検

KS D 0258-2012 発売履歴

• 2022 KS D 0258-2022 優先エッチング技術によるシリコンの結晶欠陥の検査方法
• 0000 KS D 0258-2012(2017)
• 2012 KS D 0258-2012 シリコン結晶の完全性を評価する化学優先腐食試験方法
• 0000 KS D 0258-2002