DS/EN ISO 25178-604:2013
幾何学的製品仕様 (GPS) 表面テクスチャ: 平面部品 604: 非接触 (コヒーレント走査干渉計) 機器の公称特性

規格番号

DS/EN ISO 25178-604:2013

制定年

2013

出版団体

Danish Standards Foundation

最新版

DS/EN ISO 25178-604:2013

範囲

The present standard describes the metrological characteristics of coherence scanning interferometry (CSI) systems for 3D mapping of surface height.

DS/EN ISO 25178-604:2013 発売履歴

• 2013 DS/EN ISO 25178-604:2013 幾何学的製品仕様 (GPS) 表面テクスチャ: 平面部品 604: 非接触 (コヒーレント走査干渉計) 機器の公称特性