KS I ISO 14644-2:2007
クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 2: KS M ISO 14644-1 に継続的に準拠したテストおよびモニタリングの仕様

規格番号

KS I ISO 14644-2:2007

制定年

2007

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

状態

撤回

に置き換えられる

KS I ISO 14644-2:2017

最新版

KS I ISO 14644-2-2022

交換する

KS I ISO 14644-2:2002

範囲

この規格は、クリーンルームまたはクリーンゾーンがKS M ISO 14644-1で定める空気中の粒子の

KS I ISO 14644-2:2007 発売履歴

• 2022 KS I ISO 14644-2-2022 クリーンルームおよび関連する管理環境 — パート 2: 粒子濃度による空気清浄度に関連するクリーンルームのパフォーマンスの証拠を提供するためのモニタリング
• 2017 KS I ISO 14644-2:2017 クリーンルームおよび関連する管理された環境 - ISO 14644-1 への継続的な準拠を実証するためのテストおよびモニタリングの仕様
• 2007 KS I ISO 14644-2:2007 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 2: KS M ISO 14644-1 に継続的に準拠したテストおよびモニタリングの仕様
• 0000 KS I ISO 14644-2:2002