KS D ISO 18114:2005
表面化学分析、二次イオン質量分析、イオン注入標準における相対感度係数の決定。

規格番号

KS D ISO 18114:2005

制定年

2005

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

状態

入れ替わる 2020-01

に置き換えられる

KS D ISO 18114-2020

最新版

KS D ISO 18114-2020

範囲

この仕様は、イオン注入された基準物質における二次イオン質量分析（SIMS）のための相対

KS D ISO 18114:2005 発売履歴

• 2020 KS D ISO 18114-2020 表面化学分析－二次イオン質量分析－イオン注入標準物質からの相対感度係数の決定
• 2005 KS D ISO 18114:2005 表面化学分析、二次イオン質量分析、イオン注入標準における相対感度係数の決定。