KS D ISO 15471:2005
表面化学分析、オージェ電子分光法、選択された機器性能パラメーターの説明

規格番号

KS D ISO 15471:2005

制定年

2005

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

状態

入れ替わる 2020-01

に置き換えられる

KS D ISO 15471-2020

最新版

KS D ISO 15471-2020

範囲

この仕様は、オージェ電子分光計の性能に関する具体的な事項を説明する方法を規定している。

KS D ISO 15471:2005 発売履歴

• 2020 KS D ISO 15471-2020 表面化学分析－オージェ電子分光法－選択された機器性能パラメータの説明
• 2005 KS D ISO 15471:2005 表面化学分析、オージェ電子分光法、選択された機器性能パラメーターの説明