KS I ISO 14644-5:2005
クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 5: 運用

規格番号

KS I ISO 14644-5:2005

制定年

2005

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

KS I ISO 14644-5:2020

最新版

KS I ISO 14644-5:2020

交換する

MISO14644-5

範囲

この仕様では、クリーンルームの作業に関する基本的な要件を説明します。 これはクリーンルームの使用と

KS I ISO 14644-5:2005 発売履歴

• 2020 KS I ISO 14644-5:2020 クリーンルームと関連する管理された環境 - パート 5: 運用
• 2005 KS I ISO 14644-5:2005 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 5: 運用