KS C 6565-2002
半導体加速度センサーの試験方法

規格番号

KS C 6565-2002

制定年

2002

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

KS C 6565-2002(2017)

最新版

KS C 6565-2022

範囲

この規格は写真エッチング技術（フォトリソグラフィ）によって作られたシリコン半導体加速度計を

KS C 6565-2002 発売履歴

• 2022 KS C 6565-2022 半導体加速度センサーの試験方法
• 0000 KS C 6565-2002(2017)
• 2002 KS C 6565-2002 半導体加速度センサーの試験方法