KS D 0262-2002
シリコン切断・研削盤の外観検査

規格番号

KS D 0262-2002

制定年

2002

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

KS D 0262-2002(2017)

最新版

KS D 0262-2022

交換する

KS D 0262-1989

範囲

この規格は、シリコンウェハに見られるさまざまな特徴と汚染物質の外観検査と片面

KS D 0262-2002 発売履歴

• 2022 KS D 0262-2022 スライスおよびラッピングされたシリコンウェーハの外観検査
• 0000 KS D 0262-2002(2017)
• 2002 KS D 0262-2002 シリコン切断・研削盤の外観検査
• 0000 KS D 0262-1989