KS B ISO 10692-2:2003
ガスシリンダー マイクロエレクトロニクス産業で使用するガスシリンダーバルブの接続 パート 2: バルブシリンダー接続の仕様とタイプテスト。

規格番号

KS B ISO 10692-2:2003

制定年

2003

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

状態

入れ替わる 2014-12

に置き換えられる

KS B ISO 10692-2:2014

最新版

KS B ISO 10692-2-2019

範囲

この仕様は、最高レベルの清潔さやほこりのない場所です（たとえば、マイクロエレクトロニクス部品の製造

KS B ISO 10692-2:2003 発売履歴

• 2019 KS B ISO 10692-2-2019 ガスシリンダー — マイクロエレクトロニクス産業で使用するガスシリンダーのバルブ接続 — パート 2: バルブとシリンダーの接続の仕様とタイプのテスト
• 2014 KS B ISO 10692-2:2014 ガスシリンダー マイクロエレクトロニクス産業で使用するガスシリンダーバルブの接続 パート 2: バルブシリンダー接続の仕様とタイプテスト。
• 2003 KS B ISO 10692-2:2003 ガスシリンダー マイクロエレクトロニクス産業で使用するガスシリンダーバルブの接続 パート 2: バルブシリンダー接続の仕様とタイプテスト。