KS D ISO 14706:2003
表面化学分析 全反射蛍光X線分析法を使用したシリコンウェーハ表面の主な汚染物質の測定

規格番号

KS D ISO 14706:2003

制定年

2003

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

KS D ISO 14706-2003(2018)

最新版

KS D ISO 14706-2023

範囲

この規格は機械化学的に（chemomechanically）研磨するか、エピタキシャル（epit

KS D ISO 14706:2003 発売履歴

• 2023 KS D ISO 14706-2023
• 0000 KS D ISO 14706-2003(2018)
• 2003 KS D ISO 14706:2003 表面化学分析 全反射蛍光X線分析法を使用したシリコンウェーハ表面の主な汚染物質の測定