ISO 25178-603:2013
製品の幾何学的仕様 (GPS) 表面テクスチャ面 パート 603 非接触 (位相シフト干渉計の顕微鏡検査) 機器の公称特性

規格番号

ISO 25178-603:2013

制定年

2013

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 25178-603:2013

範囲

This part of ISO 25178 describes the metrological characteristics of phase-shifting interferometric (PSI) profile and areal surface texture measuring microscopes.

ISO 25178-603:2013 発売履歴

• 2013 ISO 25178-603:2013 製品の幾何学的仕様 (GPS) 表面テクスチャ面 パート 603 非接触 (位相シフト干渉計の顕微鏡検査) 機器の公称特性