KS B ISO 5302:2004
真空技術、ターボ分子ポンプ、性能特性の測定

規格番号

KS B ISO 5302:2004

制定年

2004

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

状態

入れ替わる 2019-01

に置き換えられる

KS B ISO 5302-2019

最新版

KS B ISO 5302-2019

範囲

この規格は、ターボ分子ポンプの性能特性の測定方法について規定する。 すべてのタイプと

KS B ISO 5302:2004 発売履歴

• 2019 KS B ISO 5302-2019 真空技術－ターボ分子ポンプ－性能特性の測定
• 2004 KS B ISO 5302:2004 真空技術、ターボ分子ポンプ、性能特性の測定