GB/T 29852-2013
太陽電池用シリコン材料中の P、As、Sb ドナー不純物含有量を測定するための二次イオン質量分析法 (英語版)

規格番号

GB/T 29852-2013

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2013

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 29852-2013

範囲

この規格は、二次イオン質量分析法 (SIMS) によって太陽電池用シリコン材料中のリン、ヒ素、アンチモンの含有量を測定する方法を規定しています。 この規格は、太陽電池用シリコン材料中のドナー不純物であるリン、ヒ素、アンチモンの含有量の定量分析に適用されます。 リン、ヒ素、アンチモンの濃度はすべて 1×1014atoms/cm3 を超えます。

GB/T 29852-2013 発売履歴

• 2013 GB/T 29852-2013 太陽電池用シリコン材料中の P、As、Sb ドナー不純物含有量を測定するための二次イオン質量分析法