BS EN 62047-11:2013
半導体デバイス、マイクロ電気機械デバイス、マイクロ電気機械デバイス用のサポートを使用しない材料の線熱膨張係数の試験方法
- 規格番号
- BS EN 62047-11:2013
- 制定年
- 2013
- 出版団体
- British Standards Institution (BSI)
- 最新版
- BS EN 62047-11:2013
BS EN 62047-11:2013 発売履歴
- 2013 BS EN 62047-11:2013 半導体デバイス、マイクロ電気機械デバイス、マイクロ電気機械デバイス用のサポートを使用しない材料の線熱膨張係数の試験方法
