DS/EN 62276:2013
弾性表面波 (SAW) デバイス用途の単結晶ウェーハの仕様と測定方法

規格番号

DS/EN 62276:2013

制定年

2013

出版団体

Danish Standards Foundation

最新版

DS/EN 62276:2013

交換する

DS/EN 62276-2005

範囲

IEC 62276:2012 は、表面の製造における基板として使用することを目的とした合成石英、ニオブ酸リチウム (LN)、タンタル酸リチウム (LT)、四ホウ酸リチウム (LBO)、およびケイ酸ランタン ガリウム (LGS) 単結晶ウェーハの製造に適用されます。

DS/EN 62276:2013 発売履歴

• 2013 DS/EN 62276:2013 弾性表面波 (SAW) デバイス用途の単結晶ウェーハの仕様と測定方法