GB/T 29732-2013
中分解能オージェ電子分光計の元素分析用のエネルギースケール校正(表面化学分析用) (英語版)

規格番号
GB/T 29732-2013
言語
中国語版, 英語で利用可能
制定年
2013
出版団体
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
状態
 2022-07
に置き換えられる
GB/T 29732-2021
最新版
GB/T 29732-2021
範囲
この規格は、運動エネルギースケールの不確実性が 3 eV の場合のオージェ電子分光計の校正方法を規定しており、表面上の従来の元素を識別するために使用されます。 また、校正周期の決定方法も規定されています。 この規格は、ダイレクト モードまたは差動モード分解能が 0.5% 以下の機器に適用され、差動モードのピークツーピーク変調振幅は 2 eV です。 この規格は、不活性ガスイオン銃を備えた分光計、または 4 keV 以上のビームエネルギーの電子銃を使用したその他のサンプル洗浄方法に適用されます。

GB/T 29732-2013 規範的参照

GB/T 29732-2013 発売履歴

  • 2021 GB/T 29732-2021 表面化学分析用中分解能オージェ電子分光計の元素分析用エネルギースケールの校正
  • 2013 GB/T 29732-2013 中分解能オージェ電子分光計の元素分析用のエネルギースケール校正(表面化学分析用)
中分解能オージェ電子分光計の元素分析用のエネルギースケール校正(表面化学分析用)



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