GB/T 29731-2013
表面化学分析 高分解能オージェ電子分光計 元素および化学状態分析のためのエネルギースケール校正 (英語版)

規格番号
GB/T 29731-2013
言語
中国語版, 英語で利用可能
制定年
2013
出版団体
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
最新版
GB/T 29731-2013
範囲
この規格は、表面元素と化学状態の分析のためのオージェ電子分光法の運動エネルギー標準を校正する方法を指定します。 また、校正スケジュールも規定しています。 これは、中間の特定のエネルギー値で運動エネルギースケールの直線性をテストし、高運動エネルギー領域と低運動エネルギー領域の点を取得してスケール校正の不確実性を確認し、スケールを修正するために使用されます。 スケールの小さなドリフトを考慮して、95% の信頼水準で運動エネルギーを指定します。 標準校正の不確かさの拡大（この不確かさには、研究室間の研究で観察されたさまざまな現象が含まれますが、考えられるすべての欠陥をカバーするわけではありません）。 この規格は、スパッタ洗浄されたイオンガンを備えた機器にのみ適用されます。 この機器は次の状況には適していません。 運動エネルギースケールの誤差がエネルギーに応じて大幅に非線形に変化します。 分光器の相対分解能が固定△E/E モードまたは固定△E が 1.5 eV モードで 0.2% 未満の場合、許容誤差が必要です。 差の限界は±0.05 eV以下です。 また、電子銃が5keV～10keVのエネルギー範囲で動作できない機器にも適しません。 この規格はフルスケールの校正検証を提供しません。 各ポイントの検証は検証するエネルギー スケールに設定でき、機器メーカーの推奨手順に従って実行する必要があります。

GB/T 29731-2013 規範的参照

GB/T 29731-2013 発売履歴

  • 2013 GB/T 29731-2013 表面化学分析 高分解能オージェ電子分光計 元素および化学状態分析のためのエネルギースケール校正
表面化学分析 高分解能オージェ電子分光計 元素および化学状態分析のためのエネルギースケール校正


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