IEC 62047-11:2013
半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 11: 微小電気機械デバイスのサポートなしでの材料の線熱膨張係数の試験方法。

規格番号

IEC 62047-11:2013

制定年

2013

出版団体

International Electrotechnical Commission (IEC)

最新版

IEC 62047-11:2013

交換する

IEC 47F/154/FDIS:2013

IEC 62047-11:2013 発売履歴

• 2013 IEC 62047-11:2013 半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 11: 微小電気機械デバイスのサポートなしでの材料の線熱膨張係数の試験方法。