GB/T 29557-2013
表面化学分析 デプスプロファイリング スパッタリング深さ測定 (英語版)

規格番号

GB/T 29557-2013

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2013

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 29557-2013

範囲

この国際規格は、スパッタ深さプロファイリングでスパッタ深さを測定するためのガイドラインを指定します。 この規格は、固体サンプルを剥離するためのイオン衝撃と組み合わせた表面化学分析技術に適用できます。 通常、スパッタリングの深さは数ミクロンに達することがあります。

GB/T 29557-2013 発売履歴

• 2013 GB/T 29557-2013 表面化学分析 デプスプロファイリング スパッタリング深さ測定