DS/EN ISO 14644-10:2013
クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 10: 化学物質濃度による表面清浄度の分類

規格番号

DS/EN ISO 14644-10:2013

制定年

2013

出版団体

Danish Standards Foundation

最新版

DS/EN ISO 14644-10:2013

範囲

ISO 14644-10:2012 は、化合物または元素 (分子、イオン、原子、粒子を含む) の存在に関して、クリーンルーム内の表面の清浄度の分類システムを定義します。 クリーンロのあらゆる固体表面に適用可能

DS/EN ISO 14644-10:2013 発売履歴

• 2013 DS/EN ISO 14644-10:2013 クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 10: 化学物質濃度による表面清浄度の分類