DS/EN ISO 14644-9:2012
クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 9: 粒子濃度による表面清浄度の分類

規格番号

DS/EN ISO 14644-9:2012

制定年

2012

出版団体

Danish Standards Foundation

最新版

DS/EN ISO 14644-9:2012

範囲

ISO 14644-9:2012 は、クリーンルームおよび関連する制御環境アプリケーションにおける粒子濃度による固体表面の清浄度レベルの分類を確立しています。 試験および測定方法に関する推奨事項および情報

DS/EN ISO 14644-9:2012 発売履歴

• 2012 DS/EN ISO 14644-9:2012 クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 9: 粒子濃度による表面清浄度の分類