DS/EN 62047-13:2012
半導体デバイス - マイクロ電気機械デバイス - パート 13: MEMS 構造の接着強度を測定するための曲げおよびせん断タイプの試験方法

規格番号

DS/EN 62047-13:2012

制定年

2012

出版団体

Danish Standards Foundation

最新版

DS/EN 62047-13:2012

範囲

IEC 62047-13:2012 では、試験片の円柱形状を使用したマイクロサイズの要素と基板間の接着試験方法を規定しています。 この国際規格は、次のように作成された微細構造の接着強度測定に適用できます。

DS/EN 62047-13:2012 発売履歴

• 2012 DS/EN 62047-13:2012 半導体デバイス - マイクロ電気機械デバイス - パート 13: MEMS 構造の接着強度を測定するための曲げおよびせん断タイプの試験方法