EN ISO 25178-604:2013
製品幾何学的仕様 (GPS)、表面テクスチャ: 平面、パート 604: 非接触公称特性評価 (コヒーレンス走査干渉計) 機器

規格番号

EN ISO 25178-604:2013

制定年

2013

出版団体

European Committee for Standardization (CEN)

最新版

EN ISO 25178-604:2013

交換する

FprEN ISO 25178-604:2013

範囲

ISO 25178 のこの部分は、表面高さの 3 次元イメージングのためのコヒーレンス走査干渉法 (CSI) システムの計測特性に適用されます。

EN ISO 25178-604:2013 発売履歴

• 2013 EN ISO 25178-604:2013 製品幾何学的仕様 (GPS)、表面テクスチャ: 平面、パート 604: 非接触公称特性評価 (コヒーレンス走査干渉計) 機器