EN 62047-5:2012
半導体デバイス 微小電気機械デバイス パート 5: RF MEMS スイッチ

規格番号

EN 62047-5:2012

制定年

2012

出版団体

European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）

最新版

EN 62047-5:2012

EN 62047-5:2012 発売履歴

• 2012 EN 62047-5:2012 半導体デバイス 微小電気機械デバイス パート 5: RF MEMS スイッチ
• 2011 EN 62047-5:2011 半導体デバイス 微小電気機械デバイス パート 5: RF MEMS スイッチ