BS ISO 2861:2013
真空技術、ウェーハクイックカップリングの寸法

規格番号

BS ISO 2861:2013

制定年

2013

出版団体

British Standards Institution (BSI)

状態

入れ替わる 2020-11

に置き換えられる

BS ISO 2861:2020

最新版

BS ISO 2861:2020

BS ISO 2861:2013 発売履歴

• 2020 BS ISO 2861:2020 真空技術ウェーハクイックコネクタの寸法
• 2013 BS ISO 2861:2013 真空技術、ウェーハクイックカップリングの寸法