VDI 2083 Blatt 17-2013
クリーンルームテクノロジーの材料と必要な清浄度の適合性

規格番号
VDI 2083 Blatt 17-2013
制定年
2013
出版団体
Association of German Mechanical Engineers
最新版
VDI 2083 Blatt 17-2013
交換する
VDI 2083 Blatt 17-2011
範囲
このガイドラインは、粒子および化学（分子）汚染、材料の静電気特性、および表面の洗浄性を扱います。 生物学的汚染および放射性汚染は、このガイドラインの特定の主題ではありません。 このガイドラインでは、材料の清浄度適合性とクリーンルーム適合性が定義されています。 これに基づいて分類が行われ、クリーンな生産地域での使用目的への適合性を判断するための手順が規定されています。

VDI 2083 Blatt 17-2013 規範的参照

  • DIN 50452-1:1995 半導体プロセスで使用される材料の検査 液体中の粒子分析の試験方法 第 1 部: 粒子の顕微鏡測定
  • DIN 53804-2:1985 データの統計分析 可算（離散）特性
  • DIN 55301:1978 統計表の説明
  • DIN EN 1335-1:2002 オフィス家具、オフィスチェア パート 1: 寸法 寸法の決定。
  • DIN EN 1335-2:2010 オフィス家具、オフィスチェア、パート 2: 安全要件、ドイツ語版 EN 1335-2-2009
  • DIN EN 1335-3:2009 オフィス家具、オフィスチェア、パート 3: 安全性試験方法、英語版 DIN EN 1335-3-2009-08
  • DIN EN 13779:2007 非家庭用建物の換気 換気および室内空調ユニットの性能要件
  • DIN EN 14041:2008 弾力性のあるファブリックとラミネート床材の基本特性
  • DIN EN 1815:1998 床材生地および弾性カバーの静電気特性の評価
  • DIN EN 61340-5-1:2008 静電気 パート 5-1: 静電気現象からの電子デバイスの保護 一般要件

VDI 2083 Blatt 17-2013 発売履歴

クリーンルームテクノロジーの材料と必要な清浄度の適合性


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