NF C96-050-13*NF EN 62047-13:2012
半導体デバイス、マイクロ電気機械デバイス、パート 13: MEMS 構造の接合強度を測定するための曲げおよびせん断試験方法

規格番号

NF C96-050-13*NF EN 62047-13:2012

制定年

2012

出版団体

Association Francaise de Normalisation

最新版

NF C96-050-13*NF EN 62047-13:2012

NF C96-050-13*NF EN 62047-13:2012 発売履歴

• 2012 NF C96-050-13*NF EN 62047-13:2012 半導体デバイス、マイクロ電気機械デバイス、パート 13: MEMS 構造の接合強度を測定するための曲げおよびせん断試験方法