GB/T 29057-2012
ゾーンメルトと分光分析による多結晶シリコン棒の評価手順 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 29057-2012
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2012
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 状態
- 2024-03
- に置き換えられる
- GB/T 29057-2023
- 最新版
- GB/T 29057-2023
- 範囲
- 2.1 この規格には、多結晶シリコン棒のサンプリング、サンプル領域を溶融して単結晶に線引きする手順、および線引きされた単結晶シリコン棒を分光分析で分析して多結晶シリコン中の微量不純物を測定する手順が含まれています。 これらの微量不純物には、ドナー不純物 (通常、リンまたはヒ素、またはその両方)、アクセプター不純物 (通常、ホウ素またはアルミニウム、またはその両方)、および炭素不純物が含まれます。 2.2 この規格で適用される不純物濃度の測定範囲: ドナーおよびアクセプタ不純物は (0.002 ～ 100) ppba (10 億分の 1 原子比)、炭素不純物は (0.02 ～ 15) ppma (100 万分の 1 原子比) です。 サンプル中のこれらの不純物は、低温赤外分光法またはフォトルミネッセンス分光法によって分析されます。 2.3 この規格は、シリコンコア上に堆積および成長させたポリシリコンロッドの評価にのみ適用されます。
GB/T 29057-2012 発売履歴
- 2023 GB/T 29057-2023 ゾーンメルトと分光分析による多結晶シリコン棒の評価手順
- 2012 GB/T 29057-2012 ゾーンメルトと分光分析による多結晶シリコン棒の評価手順
