GB/T 15862-2012
イオン注入装置の一般仕様 (英語版)

規格番号
GB/T 15862-2012
言語
中国語版, 英語で利用可能
制定年
2012
出版団体
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
最新版
GB/T 15862-2012
交換する
GB/T 15862-1995
範囲
この規格は、イオン注入装置の用語、製品分類、技術要件、テスト、検査規則と標識、梱包、輸送および保管を規定しています。 この規格は、半導体技術で使用される電気エネルギーイオン注入装置に適用されます。 他のイオン注入装置も参考にして使用できます。

GB/T 15862-2012 規範的参照

  • GB 18209.1 機械および電気の安全指示、標識および操作 パート 1: 視覚、聴覚、および触覚信号の要件
  • GB/T 13384-1992 機械および電気製品の梱包に関する一般的な技術条件
  • GB/T 191 包装、保管、輸送の絵標識
  • GB/T 4857.7-2005 梱包・輸送用パッケージの基礎試験 第7回 正弦波定周波振動試験方法
  • GB/T 5080.7-1986 機器の信頼性試験における故障率が一定であると仮定した場合の故障率と平均故障間隔の検証試験計画
  • GB/T 6388-1986 輸送用梱包材の受領および出荷の標識
  • SJ/T 10674 塗料塗布の一般的な技術条件
  • SJ/T 142 エレクトロニクス産業向け特殊機器の一般仕様

GB/T 15862-2012 発売履歴

イオン注入装置の一般仕様


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