LST EN 62047-12-2011
半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - 第 12 部: MEMS 構造共振を利用した薄膜材料の曲げ疲労試験方法 (IEC 62047-12:2011)

規格番号

LST EN 62047-12-2011

制定年

2011

出版団体

Lithuanian Standards Office

最新版

LST EN 62047-12-2011

LST EN 62047-12-2011 発売履歴

• 2011 LST EN 62047-12-2011 半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - 第 12 部: MEMS 構造共振を利用した薄膜材料の曲げ疲労試験方法 (IEC 62047-12:2011)