BS ISO 16413:2013
線反射率測定を使用した膜厚、密度、界面幅の評価 機器要件 校正と位置決め、データ収集、データ分析とレポート

規格番号

BS ISO 16413:2013

制定年

2013

出版団体

British Standards Institution (BSI)

状態

入れ替わる 2020-08

に置き換えられる

BS ISO 16413:2020

最新版

BS ISO 16413:2020

BS ISO 16413:2013 発売履歴

• 2020 BS ISO 16413:2020 X 線反射率測定によるフィルムの厚さ、密度、界面幅の評価 機器要件、位置合わせと位置決め、データ収集、データ分析、およびレポート作成
• 2013 BS ISO 16413:2013 線反射率測定を使用した膜厚、密度、界面幅の評価 機器要件 校正と位置決め、データ収集、データ分析とレポート