BS EN ISO 14644-9:2012
クリーンルームおよび関連管理環境 粒子濃度法による表面清浄度分類

規格番号

BS EN ISO 14644-9:2012

制定年

2012

出版団体

British Standards Institution (BSI)

状態

入れ替わる 2022-07

に置き換えられる

BS EN ISO 14644-9:2022

最新版

BS EN ISO 14644-9:2022

BS EN ISO 14644-9:2012 発売履歴

• 2022 BS EN ISO 14644-9:2022 クリーンルームおよび関連する制御環境における粒子濃度の表面清浄度の評価
• 2012 BS EN ISO 14644-9:2012 クリーンルームおよび関連管理環境 粒子濃度法による表面清浄度分類