ASTM F1396-93(2012)
ガス分配システムのコンポーネント内の酸素分布を測定するための標準試験方法
- 規格番号
- ASTM F1396-93(2012)
- 制定年
- 1993
- 出版団体
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- 状態
- に置き換えられる
- ASTM F1396-93(2020)
- 最新版
- ASTM F1396-93(2020)
- 範囲
- 1.1 この試験方法は、周囲温度での超高純度ガス分配システムへの酸素寄与についてコンポーネントを試験する手順を対象としています。 さらに、この試験方法では、70℃もの高い周囲温度でコンポーネントを試験することができます。 1.2 この試験方法は、半導体ガス供給システムで使用されるようなエレクトロニクスグレードの材料を含むインラインコンポーネントに適用されます。 1.3 制限事項: 1.3.1 このテスト方法は、現在の計測器の感度および計測器の応答時間によって制限されます。 この試験方法は、外径公称サイズ 12.7 mm (1/2 インチ) を超える試験コンポーネントに使用することを目的としていません。 このテスト方法は、より大きなコンポーネントにも適用できます。 ただし、記載されている体積流量では、代表的なサンプルを確保するのに十分な混合が得られない可能性があります。 流量が高いと混合は改善されますが、サンプルが過度に希釈されます。 1.3.2 この試験方法は、操作者が 6 か月の経験に相当するレベルで装置の使用方法を理解していることを前提として書かれています。 1.4 SI 単位で記載されている値は標準とみなします。 括弧内のインチポンド単位は情報提供のみを目的としています。 1.5 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。 具体的な危険性に関する記述はセクション 6 に記載されています。
ASTM F1396-93(2012) 発売履歴
- 2020 ASTM F1396-93(2020) ガス分配システムのコンポーネントからの酸素寄与を測定するための標準試験方法
- 1993 ASTM F1396-93(2012) ガス分配システムのコンポーネント内の酸素分布を測定するための標準試験方法
- 1993 ASTM F1396-93(2005) ガス供給システムのコンポーネントへの酸素供給を測定するための標準試験方法
- 1993 ASTM F1396-93(1999) ガス分配システムのコンポーネントからの酸素寄与を測定するための標準試験方法
