DS/EN 62047-2:2007
半導体デバイス 微小電気機械デバイス 第２部：薄膜材料の引張試験方法

規格番号

DS/EN 62047-2:2007

制定年

2007

出版団体

Danish Standards Foundation

最新版

DS/EN 62047-2:2007

範囲

この国際規格は、微小電気機械システム (MEMS) やマイクロマシンなどの主要構造材料である、長さおよび幅 1 mm 未満、厚さ 10 μm 未満の薄膜材料の引張試験方法を規定しています。 MEMSやマイクロマシンなどのデバイスは、代表的な寸法が数ミクロンオーダーであること、蒸着による材料作製、エッチングやフォトリソグラフィーを用いた非機械加工による試験片作製などの特徴を持っています。 この国際規格は、tに相当する精度を保証できる試験方法を規定しています。

DS/EN 62047-2:2007 発売履歴

• 2007 DS/EN 62047-2:2007 半導体デバイス 微小電気機械デバイス 第２部：薄膜材料の引張試験方法