DS/EN ISO 6145-7:2011
ガス分析 ダイナミックボリューム法を使用した校正ガス混合物の調製 パート 7: サーマルマスフローコントローラー

規格番号

DS/EN ISO 6145-7:2011

制定年

2011

出版団体

Danish Standards Foundation

最新版

DS/EN ISO 6145-7:2011

範囲

ISO 6145-7:2009 は、市販のサーマルマスフローコントローラーを使用して、純粋なガスまたは他のガス混合物から 2 つ以上の成分を含む校正ガス混合物を連続的に生成する方法を指定しています。 この方法を校正ガス混合物の調製に使用した場合、最適なパフォーマンスは次のようになります。 組み合わせた標準不確かさにカバレッジ係数 k = 2 を乗算して得られる測定の相対拡張不確かさ U は 2 % 以下です。 純粋なガスの代わりに予混合ガスを使用すると、10-6 未満のモル分率が得られます。 質量流量の測定は絶対的なものではなく、流量制御は

DS/EN ISO 6145-7:2011 発売履歴

• 2011 DS/EN ISO 6145-7:2011 ガス分析 ダイナミックボリューム法を使用した校正ガス混合物の調製 パート 7: サーマルマスフローコントローラー