DS/EN 60204-33:2011
機械の安全性 機械および電気機器パート 33: 半導体製造装置の要件

規格番号

DS/EN 60204-33:2011

制定年

2011

出版団体

Danish Standards Foundation

最新版

DS/EN 60204-33:2011

範囲

IEC 60204-33:2009 は、半導体の製造、測定、組み立て、テストのための半導体製造装置に関連する電気および電子機器に適用されます。 交流 (AC) の場合は 1,000 V 以下、直流 (DC) の場合は 1,500 V を超えない公称供給電圧、および以下の公称供給周波数で動作する電気機器または電気機器の部品に適用されます。 200Hz。 より高い電圧または周波数の場合、特別な要件 IEC 60204 が製造用の半導体製造装置に関連する電気および電子機器に適用されます。

DS/EN 60204-33:2011 発売履歴

• 2011 DS/EN 60204-33:2011 機械の安全性 機械および電気機器パート 33: 半導体製造装置の要件