DS/EN ISO 14644-7:2004
クリーンルームおよび関連する制御環境 パート 7: 分離装置 (クリーン エア フード、グローブ ボックス、アイソレータおよび微小環境)

規格番号

DS/EN ISO 14644-7:2004

制定年

2004

出版団体

Danish Standards Foundation

最新版

DS/EN ISO 14644-7:2004

範囲

この規格は、ISO 14644-4 および 14644-6 に記載されているクリーンルームとは異なる点で、分離装置の設計、建設、設置、試験および承認に関する最小要件を指定します。

DS/EN ISO 14644-7:2004 発売履歴

• 2004 DS/EN ISO 14644-7:2004 クリーンルームおよび関連する制御環境 パート 7: 分離装置 (クリーン エア フード、グローブ ボックス、アイソレータおよび微小環境)