DS/EN ISO 10692-2:2002
ガスシリンダーマイクロエレクトロニクス産業向けのガスシリンダーバルブ接続部 パート 2: バルブとガスシリンダー接続の仕様とタイプテスト

規格番号

DS/EN ISO 10692-2:2002

制定年

2002

出版団体

Danish Standards Foundation

最新版

DS/EN ISO 10692-2:2002

範囲

この規格は、マイクロエレクトロニクス部品の製造など、最高レベルの清浄度および/または粒子の除去が要求される特別な使用条件下で使用される、ガスおよびガス混合物のガスシリンダーとバルブの間の接続に関するテスト手順と許容基準を指定します。 バルブとシリンダーの接続の安全性を確保するための必須のタイプのテストプログラムを指定しています。

DS/EN ISO 10692-2:2002 発売履歴

• 2002 DS/EN ISO 10692-2:2002 ガスシリンダーマイクロエレクトロニクス産業向けのガスシリンダーバルブ接続部 パート 2: バルブとガスシリンダー接続の仕様とタイプテスト