DS/EN ISO 10692-1:2002
ガスシリンダーマイクロエレクトロニクス産業のシリンダーバルブ接続部 パート 1: 出口接続

規格番号

DS/EN ISO 10692-1:2002

制定年

2002

出版団体

Danish Standards Foundation

最新版

DS/EN ISO 10692-1:2002

範囲

この規格は、ガスおよびガス混合物用のガスシリンダーバルブの出口接続に適用され、マイクロエレクトロニクス部品または同様の用途の製造で最高レベルの清浄度と粒子の除去が要求される特別な要件に関係します。

DS/EN ISO 10692-1:2002 発売履歴

• 2002 DS/EN ISO 10692-1:2002 ガスシリンダーマイクロエレクトロニクス産業のシリンダーバルブ接続部 パート 1: 出口接続