GB/T 28632-2012
表面化学分析、オージェ電子分光法および X 線光電子分光法、横方向分解能測定 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 28632-2012
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2012
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 最新版
- GB/T 28632-2012
- 範囲
- この規格は、オージェ電子分光装置およびX線光電子分光装置の横分解能を3つの条件で測定する方法を規定しています。 ストレートエッジ法は、横方向の分解能が 1 µm を超えると予想される機器に適しています。 グリッド法は、横方向の分解能が 20nm 以上 1μm 未満と予想される機器に適しています。 ゴールデン アイランド ルールは、横方向の分解能が 50nm 未満と予想される機器に適用されます。 付録 A、付録 B、および付録 C には、横方向の解像度を測定するためのバンド図の例が示されています。
GB/T 28632-2012 規範的参照
- GB/T 22461-2008 表面化学分析 用語集
GB/T 28632-2012 発売履歴
- 2012 GB/T 28632-2012 表面化学分析、オージェ電子分光法および X 線光電子分光法、横方向分解能測定
