BS EN 62047-13:2012
半導体装置、マイクロ電気機械デバイス、MEMS 構造の接着強度を測定するための曲げおよびせん断タイプの試験方法。

規格番号

BS EN 62047-13:2012

制定年

2012

出版団体

British Standards Institution (BSI)

最新版

BS EN 62047-13:2012

BS EN 62047-13:2012 発売履歴

• 2012 BS EN 62047-13:2012 半導体装置、マイクロ電気機械デバイス、MEMS 構造の接着強度を測定するための曲げおよびせん断タイプの試験方法。