ISO 24237:2005 では、非単色化 Al または Mg X 線、または単色化 Al X 線を使用して、一般分析目的の X 線光電子分光計の強度スケールの再現性と不変性を評価する方法を指定しています。
スパッタ洗浄用のイオンガンを組み込んだ機器にのみ適用されます。
強度/エネルギー応答関数の校正を目的としたものではありません。
この校正は、機器の製造元または他の組織によって行われる場合があります。
この手順は、機器の使用状況に応じて強度/エネルギー応答関数が一定に保たれる精度を評価および確認するためのデータを提供します。
この恒常性に影響を与える可能性のある機器設定の一部についてガイダンスが提供されます。