JIS K 0169:2012
表面化学分析、二次イオン質量分析法 (SIMS)、複数のサブリード層制御による深さ分解能パラメータ推定法。

規格番号

JIS K 0169:2012

制定年

2012

出版団体

Japanese Industrial Standards Committee (JISC)

最新版

JIS K 0169:2012

JIS K 0169:2012 発売履歴

• 2012 JIS K 0169:2012 表面化学分析、二次イオン質量分析法 (SIMS)、複数のサブリード層制御による深さ分解能パラメータ推定法。