IEC 62047-10:2011/COR1:2012
半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 10: MEMS 材料の微極圧縮試験、正誤表 1
- 規格番号
- IEC 62047-10:2011/COR1:2012
- 制定年
- 2012
- 出版団体
- International Electrotechnical Commission (IEC)
- 最新版
- IEC 62047-10:2011/COR1:2012
IEC 62047-10:2011/COR1:2012 発売履歴
- 2012 IEC 62047-10:2011/COR1:2012 半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 10: MEMS 材料の微極圧縮試験、正誤表 1
- 2011 IEC 62047-10:2011 半導体デバイス – マイクロ電気機械デバイス – パート 10: MEMS 材料のマイクロピラー圧縮試験 (第 1.0 版)
