EN 62047-13:2012
半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 13: 微小電気機械システム (MEMS) 構造の接着強度を測定するための曲げおよびせん断試験方法。

規格番号

EN 62047-13:2012

制定年

2012

出版団体

European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）

最新版

EN 62047-13:2012

EN 62047-13:2012 発売履歴

• 2012 EN 62047-13:2012 半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 13: 微小電気機械システム (MEMS) 構造の接着強度を測定するための曲げおよびせん断試験方法。