VDI 2083 Blatt 3.1-2012 クリーンルーム技術クリーンルーム空気の計測モニタリング規格と仕様

範囲: このガイドラインは、制御された環境の個々のパラメータの恒久的な設置に特有の監視を扱います。モニタリングは連続的 (圧力、温度、湿度) または連続的 (微生物学) の場合があります。このガイドラインは古典的なモニタリング、つまりパラメータの永続的なチェックには適用されますが、認定を目的とした反復的な測定には適用されません。ガイドラインでは微生物学的手法については規定されていない。基準を定義するために、クリーンルーム設備の測定方法と必要な機器を指定します。モニタリング測定に関する仕様は、ユーザーが動作中に設置およびプロセス関連の要件からの逸脱を判断できる方法を選択するのを支援することを目的としています。このガイドラインは、一定間隔で読み出すデータを保存するデータロガーには適用されません。一方、マスターシステムにデータを即座に渡すデータロガー、つまり単にセンサーとして使用されるロガーは除外されません。

VDI 2083 Blatt 3.1-2012 規範的参照

DIN EN 12599:2000 建物の換気。空調および換気システムを引き渡すための試験手順と測定方法
DIN EN ISO 14644-1:1999 クリーンルームおよび関連する管理環境パート 1: 空気清浄度の分類 (ISO 14644-1:1999)、ドイツ語版 EN ISO 14644-1:1999
DIN EN ISO 14644-2:2001 クリーンルームおよび関連する制御環境パート 2: ISO 14644-1 (ISO 14644-2:2000) ドイツ語版 EN ISO 14644-2:2000 への準拠を実証するテストおよび監視仕様
DIN EN ISO 14644-3:2006 クリーンルームおよび関連する管理環境パート 3: 試験方法 (ISO 14644-3-2005) ドイツ語版 EN ISO 14644-3-2005
DIN EN ISO 14644-4:2003 クリーンルームと関連する管理された環境パート 4: 設計、建設、運用
DIN EN ISO 14644-7:2005 クリーンルームおよび関連する管理環境パート 7: 分離装置 (クリーンエアフード、グローブボックス、分離器、および微小環境)
DIN EN ISO 7726:2002 熱環境の人間工学物理量を測定するための機器 (ISO 7726:1998)、ドイツ語版 EN ISO 7726:2001
DIN EN ISO 9000:2005 品質管理システムの基礎と用語

2012 VDI 2083 Blatt 3.1-2012 クリーンルーム技術クリーンルーム空気の計測モニタリング
2011 VDI 2083 Blatt 3.1-2011 Reinraumtechnik - Messtechnik in der Reinraumluft - モニタリング