BS EN 62047-12:2011
半導体デバイス、微小電気機械デバイス、MEMS構造の共振および薄膜材料の曲げたわみ試験方法。

規格番号

BS EN 62047-12:2011

制定年

2011

出版団体

British Standards Institution (BSI)

最新版

BS EN 62047-12:2011

BS EN 62047-12:2011 発売履歴

• 2011 BS EN 62047-12:2011 半導体デバイス、微小電気機械デバイス、MEMS構造の共振および薄膜材料の曲げたわみ試験方法。