VDI/VDE 2655 Blatt 1.1-2008
光学測定およびマイクロトポグラフィー干渉顕微鏡および粗さ測定の校正用の深さ測定標準

規格番号

VDI/VDE 2655 Blatt 1.1-2008

制定年

2008

出版団体

Association of German Mechanical Engineers

最新版

VDI/VDE 2655 Blatt 1.1-2008

範囲

現在のガイドライン VDI/VDE 2655 パート 1.1 は、工業用表面のトポグラフィーの測定に使用される干渉顕微鏡に適用されます。 ここで説明する校正手順は、接触スタイラス機器のトレーサビリティを扱うガイドラインですでに証明されている方法と同等です (図 1 を参照) (DKD-R 4-2; EAL-G20)。 したがって、そこで検討されている規格（光学フラット、光学回折格子、深さ測定規格、粗さ測定規格）も可能な場合には使用されています。 ガイドライン シリーズのこの部分は、干渉顕微鏡の基本的な校正に限定されています。 これには、追跡可能な深さ測定規格での測定による長さの単位への追跡可能性が含まれます。 これは、図 1 の右側の垂直パスに対応します。 これらの測定手順から、機器の校正における測定の不確かさを計算するための導出と、深さ測定標準での測定のための導出が得られます。 表面粗さパラメータの対応する手順については、パート 2.1 で説明します。 このガイドラインの適用は、次の目的を追求します。 異なる顕微鏡を使用した表面測定、および顕微鏡と接触スタイラス機器間の、規格（文書）および接触スタイラス機器の規格との比較可能性の向上 長さの単位へのトレーサビリティの条件の定義図 1 に示す 校正への適合性の判定と校正の有効範囲の定義 校正プロセスと合格条件の最小要件の定義 干渉を使用する測定法の測定不確かさを計算するための GUM 準拠モデルの提供顕微鏡 結果報告の要件の定義。

VDI/VDE 2655 Blatt 1.1-2008 発売履歴

• 2008 VDI/VDE 2655 Blatt 1.1-2008 光学測定およびマイクロトポグラフィー干渉顕微鏡および粗さ測定の校正用の深さ測定標準
• 2005 VDI/VDE 2655 Blatt 1.1-2005 Optische Messtechnik and Microtopographien - Kalibrieren von Interferenzmikroskopen und Tiefeneinstellnormalen fuer die Rauheitsmessung